加微信好友了解更多
|
等离子设备中氩气的使用等离子清洗机使用多种工艺气体。表面清洁和活化通常采用氧、氢、氮和压缩空气，但根据不同的工艺要求也可使用氩气。那么为什么要使用这种气体，它在等离子体清洁器中的主要功能是什么。今天就和大家分享氩在真空等离子清洗机中的应用知识，供大家参考。 氩气简称氩，英文名Argon，化学式为 Ar这是一种无色无味的惰性气体。它通过高压气瓶运输和储存.主要用于工业中的金属电弧焊和切割保护。氩气是一种惰性气体。电离后产生的离子不会与基底发生化学反应。在等离子清洗中，主要用于基体表面的物理清洗和表面粗糙化。最大的特点是用于表面清洗。不会造成精密电子器件的表面氧化。正因为如此，氩等离子清洗机广泛应用于半导体、微电子、晶圆制造等行业。 在等离子体清洗器的活化和清洗过程中，工艺气体常常被混合，以获得更好的效果。由于氩的分子比较大，电离后产生的颗粒比较大，在清洁和活化表面时通常与活性气体混合。最常见的是氩和氧的混合物。氧是一种高活性气体，能有效地分解有机污染物或有机底物表面，但其颗粒相对较小，断键和轰击的能力有限。如果加入一定比例的氩气，所产生的等离子体将对有机污染物或有机基板表面具有更强的断键和分解能力，清洗和活化效率将加快。 |
