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普雷斯等离子


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ITO镀膜前处理

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ITO镀膜前处理

普雷斯等离子清洗机处理能更好地改善ITO表面形貌,同时可以看到ITO表面氧空洞明显增多,表面富集了一层带负电的氧,形成界面偶极层,增加了ITO表面功函数,使得ITO的空穴注人能力大大增强。此外,等离子清洗机处理以后ITO表面粗糙度减少,ITO膜与NPB之间的界面能减少,空穴注人变得容易,与由阴极注人的电子更好的复合产生激子,等离子体处理后的阳极制备的器件亮度高,质量好


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